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台积电EUV光刻机 图片

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2020-09-28 21:43

台积电加速先进制程推进,近期扩大释单,累计 EUV 机台至2021年底将超过50台。

三星电子(Samsung Electronics)2021年还不到25台,同时 EUV POD(光罩传送盒)采购量远低于预期。

台积电8月举行了年度技术研讨会,透露了其在尖端制造实力方面的情况。台积电占据了业界 EUV(极紫外光)设备安装量的50%。此外,台积电还拥有约60% 的 EUV 晶圆累计产量。

台积电EUV光刻机

ASML 是唯一一家生产和销售 EUV 光刻设备的公司。按照 Cutress 此前估计,台积电已经从 ASML 购买了30-35台设备。据此估算,ASML 已售出约70台机器,到2020年底可能会卖到90台。


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